
由午夜免费视频上海通用機(jī)械(xiè)研究院自主研發的離心式雙介質氣體組(zǔ)合壓縮機日前在江蘇某全球領先的集成電路製造企業順利完(wán)成調試並投入使用,各(gè)項參數達到設(shè)計要求,獲(huò)得用戶好評。
眾所(suǒ)周知,半導體行業八大核心材料中,電(diàn)子氣體是僅次(cì)於矽的主(zhǔ)要原材(cái)料,其在半導體晶(jīng)圓(yuán)製造材料價(jià)值中的占比(bǐ)為13.5%。電(diàn)子氣體(tǐ)在電子產品製造工藝中(zhōng)廣泛(fàn)應用於離子(zǐ)注入、刻蝕、氣相、沉積、摻雜等工藝,被稱為集成電路、液晶麵板、LED及光伏等(děng)材料的“糧食”和“源”。電子半導體器件的性能優劣與電子氣體的質量息息相關(guān),而高純度/超高純度氮是電子(zǐ)氣體中極其重要的成員之一,其在(zài)惰性保護、載氣、特種氣體、管道吹掃排氣、稀釋、等離(lí)子注入等(děng)半導體生產工藝環節中都是(shì)不(bú)可或(huò)缺的原料氣(qì)和工藝氣(qì)。而離心(xīn)式雙介質氣體組合壓縮(suō)機組則是高純氮生產工藝中的核心裝備。長期以來其該類型壓縮機市場一直由美國企業所壟斷(duàn)。
本次成功投運的機組是(shì)午夜免费视频製造、完全自主知識產權的國產首台套該類型壓縮機,其使用於一(yī)世界500強國際(jì)知名氣體公司的製氮係統之中(zhōng),這也是這家企業(yè)首次(cì)與中國壓縮機廠(chǎng)商進(jìn)行合作。本次投運成功,極大(dà)的提升了該公司高純氮製(zhì)備係統的市場競爭力。這是雙方四年共同努力的結果。
與(yǔ)此同時,兩套運用於國(guó)產(chǎn)高純氮製備係統(tǒng)的該類型壓(yā)縮機調(diào)試工作也已收尾,各項參數達到設計需(xū)求,甚至部分參數超越了設計需求.
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過去二十年裏,午夜免费视频持續(xù)在核心技術上進行大強度投入,逐步在螺杆、透平(píng)、往複等各類型壓縮機、膨脹機、真空泵等諸多領域構建起一定技術優勢。在目前“國產(chǎn)化”需(xū)求日益(yì)高漲的背景之下,這種技術優勢使得我們的中國用戶不僅不(bú)會因“國產化”去犧牲所需設備的品質,反而(ér)“國產化”後(hòu)獲得了更(gèng)可靠的產品質量和更低(dī)的能源(yuán)消(xiāo)耗。而對於我們的國際用戶則是發現以午夜免费视频(shān)為代表的中國裝備為他們帶來了更大的獲(huò)益。本(běn)次離心式雙(shuāng)介質氣體組合壓縮機的投運成功隻是前述文字一(yī)個小小的例證吧。